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| 公司介绍 |
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AENI半导体设备(中国)有限公司 & AENI亚太(上海/广州/香港)维修中心，是亚太地区AE(Advanced Energy )，ENI(MKS)产品最专业的维修中心，也是AE，ENI（MKS）电源产品销售中心。
全球首席等离子体电源维修专家，更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修和技术服务全球领导者。
▲ 藉由整合性服务方案提供半导体及光电子行业更完整便捷的设备维修及技术服务。服务产品包括：AE( Advanced Energy)、ENI(MKS)等国际品牌的直流，中频及RF射频等离子体溅镀电源的维修、保养、调校、升级,二手产品的销售。
▲ 专家级的技术人员和先进的检测设备，提供更可靠的服务保证。
▲ 当地化的服务体系，服务方式更灵活，价格更合理。
▲ 维修期间免费提供相同型号电源应急服务,完善的后备零件提供更快的服务响应。
公司主要承担亚太地区AE( Advanced Energy) 、ENI（MKS）等国际品牌RF 射频电源及直流电源的维修测试及调校。同时为亚太地区半导体、平板显示器、数据储存产品、太阳能电池、光电子、建筑玻璃和其他先进产品应用等行业和各类大专院校、科研院所提供专家级射频电源维修保养，升级换代服务工作。
AENI公司是全球真空、半导体领域里最著名的技术服务商之一，在气体、电源、真空仪器应用方面一直居于全球技术领先的地位。AENI尖端的技术为相关的流程设计了电源系统功能,包括:RF 清洁、金属和电介质蚀刻、感光耐蚀膜抛光、物理气相沉积 (PVD)、化学气相沉积 (CVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、溅射沉积等工艺,并且相关的产品广泛应用于尖端的材料科学和制程技术的改善，从精密的半导体工业、光电产业到工业用工具的表面镀膜、食品及制药工业等，这些制造过程都涉及到在控制的环境内使分子气相及固相发生适当的反应，以便在材料上形成不同的材质或薄膜。此外，AENI还提供 DC 溅射（反应溅射和金属化溅射）、AC双阴极溅射和PECVD，以及用于离子束沉积、反应离子束蚀刻 (RIBE) 和尖端等离子仪表应用的设备。
AENI公司在中国的上海和广州设立了维修中心，并为中国半导体和光电子行业企业提供专家级的技术服务及支持。AENI的仪器、组件和子系统将尖端的技术整合到了电源和测量设备中，能控制和监督复杂的，与气体相关的制造工艺过程，以增加客户设备的正常工作时间，提高客户产品的成品率和产量，提升客户的生产能力和对他们投资的回报。
AENI亚太(上海/广州/香港)维修中心竞争优势:
A、价格低于国际市场20%的维修价格;
B、国际顶尖的RF专家负责维修作业;
C、24小时紧急技术援助服务和2天的快速维修;
D、维修期间免费提供众多的型号应急使用;
E、上海广州香港设立维修中心提供当地化的服务体系;
F、完善原厂配件和原厂专家支持和严格遵循ＮＩＳＴ标准;
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广州联系资料：
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公司名称: 德国AENI等离子体电源(广州）维修中心
广州市伊恩埃半导体技术有限公司
公司地址：广州市白云区机场路18号利好商业大厦909/926室
办公电话：020-86585859 86585709 86389065 86380005 转818
传 真：020-8658-5862
联 系 人：林晓东
联系手机: 13926002999
上海联系资料：
公司名称: 德国AENI等离子体电源亚太(上海)维修中心
上海仪恩埃半导体设备有限公司
公司地址：上海市浦东新区新金桥路201号现代通讯大厦820室
办公电话：021-5899 9018
传 真：021-5899 9258
联 系 人：钟建军
联系手机: 021-2660-1299
AE(Advanced Energy) 维修目录：
Ion Beam Drive ：
ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500
DC( 直流系列 )：
MDX Series: MDX 5 、 MDX 10 、 MDX 20 、 MDX 30 、 MDX-052 、 MDX 1K 、 MDX 1.5K 、 MDX 500 、 MDX Delta ； MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW) ； PINNACLE Series: Pinnacle 6KW 、Pinnacle 12KW 、Pinnacle 10KW 、Pinnacle 20KW 、Pinnacle 8KW 、 Pinnacle 15KW 、PINNACLE 3000 ； PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW 、 Pinnacle Plus+ Dual output 5KW 、 Pinnacle Plus+ 10KW ； DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW 、 Pinnacle Diamond 10KW 、 Pinnacle Diamond 15KW ； MDX-L Series: MDX-L6 、 MDX-L 6kWHALO 、 MDX-L12 、 MDX-L 12M 、 MDX-L 12M 650 、 MDX-L18 ； SPARC Series: Sparc-le 20 、 Sparc-le V 、 Sparc VS ； E'Wave ；DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中频系列 )：
PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 PE-20K 、 PE-30K 、 PE-1000SG ； PE II ： PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW ； PDX ： PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000 、 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ； PDW 600 、 PDW 2200 ； PDP 2500 、 PDP 3500 ； PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 ； Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D、Crystal：Crystal 60KW、Crystal 120KW、Crystal 180KW、RAS
RF ( 射频系列 ) ：
RFG ： RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 、 RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV ； APEX ： Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027 、 Apex 5513 、 Apex 7013 、 Apex 10013 、 Apex 3513 、 Apex 10513 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513 、 Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002 、 Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、 Rapid F ； RFX ： RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX ； RFX II ： RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ； HFG ： HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M ； HFV ： HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW ； Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162 ； ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW ； Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300 ；Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v) 、 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 、 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v) 、 Cesar 1350(200v/400v) 、 Cesar 136 、 Cesar 2710 、 Cesar 2720(200v/400v) 、 Cesar 273 、 Cesar 2740(200v/4000v) 、 Cesar 276 、 Cesar 4010 、 Cesar 4020(200v/400v) 、 Cesar 403 、 Cesar 4040(200v/400v) 、 Cesar 405 、 Cesar 6010 、 Cesar 6020(200v/400v) 、 Cesar 603 、 Cesar 605；Paramount：Paramount?3000；HILIGHT：HILIGHT 012 VCO、HILIGHT133、HILIGHT 136；INTEGRO：INTEGRO 133、INTEGRO 136；Astral：Astral 20kW；HerculesII：HerculesII 10013、HerculesII 15013、HerculesII 25013、HerculesII 30013；
RFPP ：
RF-5S 250/500W 、 RF-10 、 RF-10S 、 RF-20 、 RF-20S 、 RF-25 、 RF-30S 、 RF-30H 、 RF-35 、 RF-40 、 RF-50 、 RF-50S 、 RF -10M 、 RF-10MWC 、 RF-20R 、 RF -20M 、 RF -25M 、 LF-5 、 LF-10 、 LF-20 、 LF-30 、 LF-50 、 HF-5 、 HF-10 、 HF-100 、 HF-150
Match Networks ( 匹配网络 )：
AL-10 、 AL-15 AM-5 、 AM-10 、 AM-20 、 AM-25 、 AM-30 、 AM-35 、 AM-40 、 AM-50 、 AM-100 、 AM-150 、 AM-250 、 AM-300 、 AMU10E-2 、 AMN-2000 、 AMNPS -2A 、 ATX-600 、 ATX-1250 、 ATX-2500 、 ATL-100 、 AZX-10 、 AZX-40 、 AZX-63 、 AZX-72 、 AZX-90 、 AZX-Dome 、 Navigator 640 、 Navigator 1013 、 Navigator 1013-P15 、 Navigator 1013-L35 、 Navigator 2502 、 Navigator 3013 、 Navigator 3013-ICP 、 Navigator 4027 、 Navigator 4040 、 Navigator 5060 、 Navigator 5513 、 Navigator Dual 5513-2060 、 Navigator Dual 5513-5502 、 Navigator 5513-L80 、 Navigator 5513-T150 、 Navigator 7013-L90 、 Navigator 10013 、 Navigator 10013-L140 、 Navigator 25013 、 Navigator 25027 、 Navigator 2040 、 Navigator 2060 ； VZX-5000 、 VZX-9100 、 TL-5 、 TL-10 、 TL-15 、 LM-5 、 LM-10 、 LM-30 、 LM 8000 、 LM-IPX 、 LM Others 、 Mercury 1K 、 Mercury 2K 、 Mercury 3K 、 Mercury 10K 、 ICP-1KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW 、 ICP-5KW 、 P.5000 、 FTMS-2KW 、 MFA Series 、 FM Series 、 SFM Series ； Dressler VM:VM 0415-AW 、 VM 0450 W-ICP 、 VM 1000A 、 VM 1500AW 、 VM 1500 W-ICP 、 VM 2715-AW 、 VM 5000 W-10T 、 VM 5000 W-2T 、 VM 5000 W-4T 、 VM 5000 W-6T 、 VM 5000 W-8T 、 VM-5000 W-ICP 、 VM 600A
ENI(MKS) 电源维修目录 ：
DC( 直流电源 )：
DCG Series:DCG-75 、 DCG-75E 、 DCG-100 、 DCG-100Z 、 DCG-100E 、 DCG-150 、 DCG-150E 、 DCG-200 、 DCG-200Z 、 DCG-400 、 DCG-600 ； RPG Series:RPG-50 、 RPG-100 、 RPG-200 、 Polara -260A ；OPTIMA Series:OPT-50 、 OPT-100 、 OPT-200 、 OPT-400 、 OPT-600
RF( 射频系列 )：
DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 、 DPG-10 ； ACG Series:ACG-3 、 ACG-3B 、 ACG-5 、 ACG-6 、 ACG-6B 、 ACG-10 、 ACG-10B 、 2100L -15P ； 5100L ， 600L ， 600P ， 601P ； OEM Series:OEM-6 、 OEM -6A 、 OEM-6B 、 OEM-12 、 OEM -12A 、 OEM -12A -XL 、 OEM-12B 、 OEM-12-B3 、 OEM -25A 、 OEM-25-XL 、 OEM-28B 、 OEM-50 、 OEM-1250 、 OEM-2000 、 TEL-7000-RF ； SPECTRUM Series:B-1513 、 B-3013 、 B-10013 、 B-10002 、 B-5002 、 B-11002 、 B-5513Z 、 B-10513 ； SUREPOWER Series:QL-3513 、 QL-6513 、 QL-10513 、 QL-13013 ； GENESIS(GHW 、 GMW 、 GEW 、 VHF)Series:GHW-12 、 GHW-25 、 GHW-50 、 GHW-80 、 GHW-2527 、 GHW-3040 、 GHW -58A 、 GHW- 85A 、 GMW -25A 、 GMW-25Z 、 GEW-2527 、 GEW-3040 ； NOVA Series:NOVA -25A 、 NOVA-25 、 NOVA -50A ； RACK Series :RACK-AM-300 ；OTHERS ： DPGS-10 、 DPGD-10 、 LPG -6A 、 LPG -12A 、 PL1-HF 、 PL2-HF 、 PL3-HF 、 Quanta-10 、 HF-300 、 HF-650 、 HPG-2；OneBox Series：OB1-01、OB1-02、OB1-03、OB1-04、OB2 Series、OB4 Series、000-1093-076（2M,2.5KW)、000-1093-077(27.12M,1.8KW)、000-1093-075(DUAL MATCH)、000-1134-076、000-1134-077、000-1134-077R
ENI(MKS) 匹配网络 ：
D Series:MW-5D 、 MW-10D MW-5D-01B 、 MW-5DM12 、 MW-25D -05M 1 、 MW-25LD 、 MW-50 ； LD Series:MWD-25LD 、 MWD-55LD ； H Series; MWH-5 、 MWH-25 、 MWH-100 ； M Series:MWM-25 ； DUAL Series:MW2-30 ； OTHERS:MH -1001A 、 MH -2002A 、 RFC-5MW 、 RFC-6 、 MHC-1001 、 MHC-2002 、 VL-400 、 ENI-2500W-13.56、DFC Series：2300（000-1103-088）、DFC Series：27.12MHz，3KW（000-1103-083）、DFC Series：2MHz，5KW（000-1103-084）
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| 基本信息 |
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| 主营产品：其他,半导体器件 |
| 企业类型：服务型 |
经营模式：个体经营 |
| 法定代表人： |
公司注册地： |
| 员工人数： |
公司成立时间： |
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| 联系方式 |
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| 林晓东 中国区域经理 |
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| 电 话：020-86585859/86585709 |
| 手 机： |
| 传 真：020-86585862 |
| 地 址：广州市白云区机场路18号利好商业大厦926室 |
| 邮 编：510405 |
| 公司网站：www.aeni.com.cn
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